Оптика оптической системы динамического сканирования: 1 шт. линза с малым фокусом, 1-2 шт. линзы с фокусом, гальваническое зеркало. Вся оптическая линза выполняет функцию расширения луча, фокусировки, отклонения луча и сканирования.
Расширяющая часть представляет собой отрицательную линзу, т.е. линзу с малым фокусом, которая осуществляет расширение луча и перемещение с увеличением. Фокусирующая линза состоит из группы положительных линз. Гальванометрическое зеркало является зеркалом в системе гальванометра.
(1) Оптимизация конструкции линзы: оптимальное соотношение диаметра и толщины
(2) Высокий порог повреждения линзы:>30 Дж/см2 10 нс
(3) Покрытие со сверхнизким поглощением, скорость поглощения: <20 ppm
(4) Отношение толщины гальванометра к диаметру: 1:35
(5) Точность поверхности линзы: <= λ/5
Постобъективная линза
| Макс. входной зрачок (мм) | Оптика 1 Диаметр (мм) | Оптика 2 Диаметр (мм) | Оптика 3 Диаметр (мм) | Поле сканирования (мм) | Чистая апертура сканера (мм) | Длина волны |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6 мкм |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 нм |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 нм |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 нм |
Зеркало-отражатель
| Описание детали | Диаметр (мм) | Толщина (мм) | Материал | Покрытие |
| Кремниевый отражатель | 25.4 | 3 | Кремний | HR@10.6um,Угол атаки: 45° |
| Кремниевый отражатель | 30 | 4 | Кремний | HR@10.6um,Угол атаки: 45° |
| Волоконный отражатель | 25.4 | 6.35 | Плавленый кварц | HR@1030-1090 нм, угол обзора: 45° |
| Волоконный отражатель | 30 | 5 | Плавленый кварц | HR@1030-1090 нм, угол обзора: 45° |
| Волоконный отражатель | 50 | 10 | Плавленый кварц | HR@1030-1090 нм, угол обзора: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6 | Плавленый кварц | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Плавленый кварц | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 30 | 5 | Плавленый кварц | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 532 Рефлектор | 50 | 10 | Плавленый кварц | HR@515-540 нм/532 нм, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6 | Плавленый кварц | HR@355нм&433нм, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 6.35 | Плавленый кварц | HR@355нм&433нм, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 25.4 | 10 | Плавленый кварц | HR@355нм&433нм, AOI: 45° |
| 355 Рефлектор | 30 | 5 | Плавленый кварц | HR@355нм&433нм, AOI: 45° |
Гальво Зеркало
| Описание детали | Макс. входной зрачок (мм) | Материал | Покрытие | Длина волны |
| 55 мм Д*35 мм Ш*3,5 мм Т-X 62 мм Д*43 мм Ш*3,5 мм T-Y | 30 | Кремний | MMR@10.6um | 10,6 мкм |
| 55 мм Д*35 мм Ш*3,5 мм Т-X 62 мм Д*43 мм Ш*3,5 мм T-Y | 30 | Плавленый кварц | HR@1030-1090 нм | 1030-1090 нм |
| 55 мм Д*35 мм Ш*3,5 мм Т-X 62 мм Д*43 мм Ш*3,5 мм T-Y | 30 | Плавленый кварц | HR@532нм | 532 нм |
| 55 мм Д*35 мм Ш*3,5 мм Т-X 62 мм Д*43 мм Ш*3,5 мм T-Y | 30 | Плавленый кварц | HR@355нм | 355 нм |
Защитная линза
| Диаметр (мм) | Толщина (мм) | Материал | Покрытие |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
